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    多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究

    更新时间:2023-08-14

    《自动化技术与应用》2015年02期
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    【摘要】本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法。

    【关键词】

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